所謂激光清洗技術(shù)是指利用高能激光束照射工件表面，使表面的污物、銹斑或涂層發(fā)生瞬間蒸發(fā)或剝離，高速有效地清除清潔對(duì)象表面附著物或表面涂層，從而達(dá)到潔凈的工藝過(guò)程。

   它是基于激光與物質(zhì)相互作用效應(yīng)的一項(xiàng)新技術(shù)，與傳統(tǒng)的機(jī)械清洗法、化學(xué)清洗法和超聲波清洗法(濕清洗工藝)不同、它不需要任何破壞臭氧層的CFC類有機(jī)溶劑，無(wú)污染，無(wú)噪聲，對(duì)人體和環(huán)境無(wú)害，是一種“綠色”清洗技術(shù)。

   激光清洗與機(jī)械磨擦清洗、化學(xué)腐蝕清洗、液體固體強(qiáng)力沖擊清洗、高頻超聲清洗等傳統(tǒng)清洗方法相比，有明顯的優(yōu)點(diǎn)：

（1）它高效、快捷、成本低，對(duì)基片產(chǎn)生的熱負(fù)荷和機(jī)械負(fù)荷小，清洗為非損傷；

（2）廢物可回收，無(wú)環(huán)境污染；安全可靠，不損害操作人員健康；

（3）可以清除各種不同厚度、不同成份的涂層；

（4）清潔過(guò)程易于實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化控制，實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)距離遙控清洗等。